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基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物半导体气体传感器，用于检测空气中的甲烷气体浓度。传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚膜技术、陶瓷封装技术，专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和叉指电极的顶部，从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。
该传感器具有以下特点：
对CH4高灵敏度（50~15000ppm）
快速响应（~10 Sec.）
非常低的功耗（ ~60 mW）
超小型尺寸（3.8mm × 3.8mm × 1.5mm）
长寿命（~ 10年）
长期稳定性
可进行回流焊接
该传感器可广泛应用于：天然气泄露报警，便携式检测仪，物联网、可穿戴设备，智能家居
